『シンエツ ライトフレームR』はダイシング工程で使用されるSUS製フレーム樹脂化することにより、大幅に軽量化しました。金属から置き換えることにより、ウェーハへの金属コンタミネーションを低減し、工程をクリーン化します。 対象サイズ:300mm、8、6インチウェーハ
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