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樹脂製フレーム カセット 『シンエツ ライトカセット』

『シンエツ ライトカセット』はウェーハマウント後のフレーム出荷時に使用されるアルミ製フレームカセットを樹脂化することにより、大幅に軽量化しました。金属から置き換えることにより、金属フレームとアルミ製カセットの接触による金属コンタミネーションを排除できます。

対象サイズ
300mm、8インチウェーハ用

写真:樹脂製フレームカセット

『シンエツ ライトカセット』 特長

  1. 重量半減
    アルミ製フレームカセットの約半分という軽さで、輸送コストや輸送時の環境負荷を半減します。
  2. 作業者の安全確保
    ウェーハマウンターやダイサへの上げ下ろし作業負担を半減。作業者の安全性確保に貢献します。
  3. 輸送コスト削減
    樹脂製フレームカセットにシンエツライトフレームRを組み合わせることで、輸送費を大幅に削減することが可能です。
  4. 金属遺物の低減
    SUS製テープフレームとアルミ製フレームカセットの接触時等に発生する金属異物を樹脂化することにより、大幅に低減することが可能です。

SUS製フレーム、アルミ製フレームカセット変更のメリット

図:SUS製フレーム、アルミ製フレームカセット変更のメリット


テープフレーム+フレームカセットの重量比較(300mmウェーハ)

  従来の金属製の場合
SUS製テープフレーム+
アルミ製フレームカセット
ライトフレームの場合
テープフレーム(25枚) 7.5kg
3.0kg(約60%ダウン)
フレームカセット 10.0kg
4.5kg(約50%ダウン)
合 計 17.5kg
7.5kg(約50%ダウン)
製品へのお問い合わせは、機能材営業本部 TEL(03)3836-8461
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