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ナノインプリント用離型剤塗布装置 『精密離型剤塗布装置』

ナノインプリント用の離型剤塗布装置です。超極細の凹凸がある金型にナノメートルオーダーの薄膜を塗布することができます。ナノインプリント用金型の離型剤処理に必要な各工程(洗浄、塗布、定着、リンス、乾燥)を1台で自動処理することができ、再現性UPや高効率化、離型剤コストの削減に貢献します。

写真:ナノインプリント用 『精密離型剤塗布装置』

ナノインプリント用 『精密離型剤塗布装置』 特長

  1. ナノインプリント用金型の離型剤処理に必要な各工程(洗浄、塗布、定着、リンス、乾燥)を1台で自動処理することができます。
  2. モールドの素材・形状(ガラスやシリコン、石英、ニッケル電鋳等)を問わず、最適仕様にカスタマイズします。
  3. ウェハー型モールドの他、ロール型モールドや研究用に便利な卓上型をラインナップしております。
  4. 品番により防錆やアルミ対応しておりますので、鉄製やアルミを母材とした治具にもご使用できます。
  5. ナノインプリント用離型剤も取り扱っておりますので、モールドの離型に関してトータルで提案いたします。

卓上研究用 離型剤塗布装置 仕様

項目 仕様
外形寸法 675mm(W)×480mm(D)×643(H)
対象物 φ4” ウェハー(カスタマイズ可能)
処理速度
0.1~10.0mm/sec
液槽 約200ml、SUS304製 蓋付属
リンス部 超音波洗浄機付属
送風ファン 0.7mm3/min
制御BOX タッチパネル
ユーティリティ 単相100V 500VA

製品へのお問い合わせは、機能材営業本部 TEL(03)3836-8461
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