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防汚用途用粘着材付きフッ素フィルム『EFEP』

『ネオフロンTMEFEPフィルム』はフッ素樹脂本来の特性と接着性を併せ持った画期的な素材です。

写真:『ネオフロン<sup>TM</sup>EFEPフィルム』

『ネオフロンEFEPフィルム』 特長

  1. 他素材との直接熱溶融接着が可
    ・接着剤不要のため、接着耐久性がアップ
    ・エンプラとの共押出成形ができフッ素積層フィルムのコストダウンが可能
  2. 優れた耐薬液性/透明性
    ・透明性が必要な薬液配管、液面計、装置窓
    ・薬液雰囲気による腐食のある装置内部金属部分への加工が可能
  3. 用途例
    EFEPは下記の用途で御採用いただいております
    ・半導体CMP工程でのスラリー液付着防止
    ・半導体BG工程でのウェハー研磨屑飛散防止
    ・洗浄槽周りの腐食防止

『ネオフロンEFEPフィルム』 製品構成

『ネオフロンEFEPフィルム』 用途例

写真:半導体スラリー除去性能評価

写真:『ネオフロン<sup>TM</sup>EFEPフィルム』

『ネオフロンEFEPフィルム』<フッ素樹脂フィルムの特性比較>

項目 単位 EFEP FEP PFA ET FE PCT FE PVF 測定方法
( A STM )
物理的性質
比重 - 1 .7 6 2 .1 5 2 .1 5 1 .7 6 2 .1 5 1 .4 D 7 92
引張強度( MD ) MPa 6 5 3 0 3 3 5 0 5 0 1 0 0 D 6 38
引張伸び( MD ) 5 0 0 3 0 0 3 0 0 5 0 0 5 0 0 1 0 0 D 6 38
熱的性質
融点 155~200 270 305 260 210 195 D SC 2 n d u p
熱伝導率 W / m・K 0.17 0.25 0.25 0.24 0.2 0.17 C1 77
電気的性質
体積抵抗率 Ω・c m 1 E + 1 7 1 E + 1 8 1 E + 1 8 1 E + 1 7 1 E + 1 7   D 2 57
誘電率 - 2 .6 2 .1 2 .1 2 .6 2 .4 7 D 1 50 1MHz
化学的性質 
吸水率 < 0 .1 < 0 .01 0 .0 3 < 0 .1 0 0.5 D 5 70
接触角 9 6 1 1 4 1 1 5 9 6 8 3 8 0 対水
耐薬品性 - ◎  D 5 43
水蒸気透過率 g / m2 ・day
( 100μm )
5 0.7 2 6 0.1 11 D 1 24 9
M OCON法
ガス透過率O 2
ml・min / m2
day・MP a
1000 4000 5000 700 50 500 D 1 43 4 25℃
N 2 ml・min / m2
day・MP a
400 1000 1000 300 5 40 D 1 43 4 25℃
屈折率 - 1.38 1.34 1.34 1.4 1.42 1.46 D 5 42
全光線透過率 96 96 96 95 95 95 J I S K6 71 4
H aze値 1.0 1.3 3.3 2.7 1.0 6.0※ 1 00μm
※ (2 5 μm )
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