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樹脂製ダイシングフレーム 『シンエツ ライトフレーム』 

『シンエツ ライトフレームR』はダイシング工程で使用されるSUS製フレーム樹脂化することにより、大幅に軽量化しました。金属から置き換えることにより、ウェーハへの金属コンタミネーションを低減し、工程をクリーン化します。

対象サイズ:300mm、8、6インチウェーハ

写真:『シンエツ ライトフレーム<sup>R</sup>』

『シンエツ ライトフレーム』 特長

  1. 輸送コスト削減
    SUS製フレームから約4割~6割の軽減化に成功した為、海外出荷時の輸送コストを大幅に低減することが可能です。
  2. 作業者の安全確保
    ウェーハマウンターやダイサへの上げ下ろし作業負担を半減。作業者の安全性確保に貢献します。
  3. 環境負荷低減
    メッキによる環境負荷がありません。また、SUS製フレームに対して、輸送エネルギーを約60%低減。地球温暖化の原因のひとつであるCO2ガスの発生も低減します。
  4. 金属異物の低減
    ライトフレームを使用することによりSUS製フレームで発生していた金属異物を低減することができ、工程のクリーン化に役立ちます。
製品へのお問い合わせは、機能材営業本部 TEL(03)3836-8461
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